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产品简介
高速TDI-sCMOS相机 Dhyana 9KTDI510 kHz @ 9K256 级TDI180 nm ~ 1100 nm风冷／水冷CoaXPress 2.0
| 品牌 | 鑫图 | 型号: | Dhyana 9KTDI |
|---|---|---|---|
| 传感器类型: | BSI sCMOS TDI | 传感器型号: | Gpixel GLT5009BSI |
| 量子效率: | 38 % @ 266 nm，51% @ 355 nm，82 % @ 550 nm，38 % @ 80 | 彩色 / 黑白: | 黑白 |
| 对角线尺寸: | 45.4 mm | 有效面积: | 45.36 mm x 1.28 mm |
| 分辨率: | 9072 (H) x 256 (V) | 像素尺寸: | 5 μm x 5 μm |
| 操作模式: | TDI, Area | TDI 级数: | 4, 8, 16, 32, 64, 128, 256 |
| 扫描方向: | 正向，反向，触发控制 | 电荷转移效率: | ≥ 0.99993 |
| 位深: | 12 bit, 10 bit, 8 bit | 满阱容量: | 典型值: 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit |
| 动态范围: | 典型值：68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit | 最大线速: | 299 kHZ @ 12 bit, 345 kHZ @ 10 bit, 510 kHZ @ 8 bi |
| 读出噪声: | 典型值：7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit | 暗信号不均匀性: | 典型值：1.5 e- @ 12 bit, 3.5 e- @ 10 bit |
| 光响应不均匀性: | 典型值：0.30% | 制冷方式: | 风冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min |
| 制冷温度: | 低于环境温度 35 ℃ | Binning: | 1 × 1, 2 x 2, 4 x 4, 8 x 8 |
| ROI: | 支持 | 触发模式: | 触发输入, 扫描方向输入 |
| 触发输出信号: | Strobe out | 触发接口: | Hirose, HR10A-7R-4S |
| 时间戳精度: | 8 ns | 模拟增益: | x2 ~ x8, 步进 0.5 |
| 数字增益: | x0.5 ~ x10，步进 1 | 数据接口: | CoaxPress 2.0 ( CXP-12 ) |
| 光学接口: | M72 / 用户可定制 | 电源: | 12 V / 8 A |
| 功耗: | < 60 W | 相机尺寸: | 86 mm x 86 mm x 109 mm |
| 重量: | 1100 g | 软件: | Samplepro, Matlab |
| SDK: | 支持GenICam标准 | 操作系统: | Windows, Linux |
| 操作环境: | 温度 0~40 °C, 湿度 0~85% |
高速TDI-sCMOS相机 Dhyana 9KTDI（简称：9KTDI）背照式TDI 相机基于*的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180nm紫外到1100nm近红外宽光谱，有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。
高速TDI-sCMOS相机 Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。
Dhyana 9KTDI搭载CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12灵活配置。 相机行频最高可达9K @ 510 kHz，数据通量几乎是目前主流8K线阵相机的6倍，背照式 CCD-TDI 相机的46倍，可大幅提高设备检测效率。
相机高速运行时产生的大量热量，不仅会影响成像质量，还会引起测量结果的波动。鑫图*水冷和风冷技术，确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态，降低设备误检率。
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